使用清洗液目的是將污物和工件之間的連接打破，而單獨使用水是起不到清洗的效果。超聲波空化作用的主要目的也正是輔助清洗液進行清洗。一種清洗液中包含了達到清洗效果的多種成分。例如，減小液體表面張力可以增大空化強度，而一種超聲波清洗液中會包含潤濕劑或表面活性劑成分。
目前經常用的超聲波清洗液是含有多種清潔成分、潤濕劑和其他反應成分的混合物。選擇恰當的清洗液對于有效清洗工件，排除不需要的反應是至關重要的。
不要使用易燃的或低閃點溶液。空化作用釋放出的能量被轉化成熱能和動能并在溶液內產生高溫，這對于易燃液體是非常危險的。酸性清洗液、漂白劑通常情況下應當避免使用，因為它們會損壞不銹鋼槽或產生危害；但當它們用于間接清洗工藝中，如用大口燒杯作為間接清洗容器時可以使用。
當清洗時，能夠看到明顯的清洗液減少就應該更換清洗液；或者是當清洗液明顯變臟或是失效時，也應該更換清洗液。
