特性：

1、檢出限低、重復(fù)精度高，以及測(cè)量適用性廣，因此特別適用于研究和開發(fā)使用

2、配備真空測(cè)量室和高性能硅漂移探測(cè)器，能夠?qū)崿F(xiàn)準(zhǔn)確測(cè)量，尤其是對(duì)輕元素的測(cè)試

3、通過(guò)可編程 X、Y 和 Z 軸進(jìn)行自動(dòng)測(cè)試

4、準(zhǔn)直器和濾波器可切換，因此可適用于各種材料和測(cè)試條件

應(yīng)用：

涂層厚度測(cè)量

1、原子序數(shù)從Na（11）開始的輕元素鍍層，可測(cè)量厚度低至納米級(jí)

2、鋁鍍層和硅鍍層

材料分析

1、測(cè)定寶石的真?zhèn)闻c原產(chǎn)地

2、常規(guī)材料分析和取證

3、高分辨率恒量分析